参数名称 | 参数值 |
在连续表面上,相邻二象素之间 没有大于1 / 4 波长的高度突变时 | 1000 一1nm |
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长 的高度突变时 | 130 一1nm |
测量的重复性 | δRa ≤0.5nm |
物镜倍率 | 40X |
数值孔径 | Φ 65 |
工作距离 | 0.5mm |
仪器视场 目视 | Φ0.25mm |
摄象 | 0.13×0.13mm |
仪器放大倍数 目视 | 500× |
摄象(计算机屏幕观察) | 2500× |
接收器测量列阵 | 1000X1000 |
象素尺寸 | 5.2×5.2?m |
测量时间采样(扫描)时间 | 1S |
仪器标准镜 反射率(高) | ~50 % |
反射率(低) | ~4 % |
照明光源 | 白炽灯6V 5W |
绿色干涉滤光片波长 | λ≒530nm |
半宽度 | λ≒10nm |
主显微镜升程 | 110 mm |
工作台升程 | 5 mm |
X 、丫方向移动范围 | ~10 mm |
工作台旋转运动范围 | 360° |
工作台顷斜范围 | ±6° |
计算机系统 | P4 , 2 .8G 以上,内存1G以上17寸纯平显示器 |