| 参数名称 | 参数值 |
在连续表面上，相邻二象素之间 没有大于1 / 4 波长的高度突变时 | 1000 一1nm |
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长 的高度突变时 | 130 一1nm |
| 测量的重复性 | δRa ≤0.5nm |
| 物镜倍率 | 40X |
| 数值孔径 | Φ 65 |
| 工作距离 | 0.5mm |
| 仪器视场 目视 | Φ0.25mm |
| 摄象 | 0.13×0.13mm |
| 仪器放大倍数 目视 | 500× |
| 摄象（计算机屏幕观察） | 2500× |
| 接收器测量列阵 | 1000X1000 |
| 象素尺寸 | 5.2×5.2?m |
| 测量时间采样（扫描）时间 | 1S |
| 仪器标准镜 反射率（高） | ～50 % |
| 反射率（低） | ～4 % |
| 照明光源 | 白炽灯6V 5W |
| 绿色干涉滤光片波长 | λ≒530nm |
| 半宽度 | λ≒10nm |
| 主显微镜升程 | 110 mm |
| 工作台升程 | 5 mm |
| X 、丫方向移动范围 | ～10 mm |
| 工作台旋转运动范围 | 360° |
| 工作台顷斜范围 | ±6° |
| 计算机系统 | P4 , 2 .8G 以上，内存1G以上17寸纯平显示器 |
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